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    2023.07

    物理气相沉积技术的基本原理可分为三个工艺步骤: (1)镀层材料的气化:即镀层材料被蒸发、溅射。 (2)镀层原子、分子或离子的迁移:原子、分子或离子碰撞后发生多种反应。 (3)电镀原子、分子或离子沉积在基板上。

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